產品介紹

一.  壓力系列:

        ◇ 一般工業用

             ￭ 數位式壓力表: PG200/PG300/PG301

             ￭ 壓力傳感器: PT501

             ￭ 數位式壓力開關: PS30A

        ◇ 半導體業用(VCR壓力接口, 高潔淨度)

             ￭ 壓力傳感器: PT600

             ￭ 數位式壓力開關: PS30V

二.  設備:

        ◇  活性離子蝕刻機(RIE)

        ◇  高密度電漿離子蝕刻機(HDPRIE)

        ◇  電漿輔助化學氣相沉積(PECVD)

        ◇  高密度電漿離子輔助化學氣相沉積(HDPCVD)

三. 半導體設備消耗性零件

• 一般工業用
• 數位式壓力表: PG200/PG201/PG300/PG301
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