Heater

Heater是在半導體CVD或PVD製程中的晶片載台同時提供製程所需的溫度, 為關鍵性的零組件。一般Heater的材質有鋁、不銹鋼、陶瓷..等製成。

本公司可提供新品、翻修及客製品, 歡迎各界洽詢。

AMAT (Centura)

P/N: 0010-05254

P/N: 0010-05257

ASM (Eagle-10)
P/N:70050-70103

Novellus (Altus Concept I)

P/N:02-09268-00

P/N:02-045721-00

P/N: 02-033134-00

P/N: H-30579